Које су уобичајене технике за откривање спектралних и њихове апликације?

1. Фоуриер Трансформ инфрацрвена спектроскопија (ФТИР):користи се за откривање хемијског састава и молекуларне структуре материјала чипа, анализом апсорпционог спектра инфрацорне светлости, идентификујте специфичне функционалне групе и судити о типу и чистоћи материјала

2. Раман Спецтросцопи:Неразорна техника испитивања за добијање молекуларних информација вибрација материјала анализом промене енергије након распршивања фотона, погодним за контролу квалитета полуводичких материјала

3. Ултраљубичасто видљива спектроскопија (УВ-ВИС):Процена светлосних својстава на површини чипова, откривање нечистоћа, дебљине оксида и друге површинске особине

‌4. Флуоресцентна спектроскопија:Открива одређене елементе или једињења на чипу и идентификује нечистоће у траговима специфичним таласним дужинама светлости које се емитују након узбуђења

‌

5. близу инфрацрвене спектроскопије (НИР):мери концентрацију и састав материјала и често се користи за откривање хемикалија са специфичним апсорпционим врховима у блиској инфрацрвеној регији